粒子计数器六大关键部件功能介绍
更新时间：2015-08-28 浏览次数：1812
我们都知道，粒子计数器主要由光源、测量腔、光检测器、流量监控、气泵及过滤器以及电路系统六大部件组成，这六大关键部件对仪器的性能影响很大。接下来让我们一起来看看这六大部件主要都有什么功能吧。
1、粒子计数器的光源
光源有普通光源和激光光源两种。普通光源为碘钨灯，体积大、发热量高、寿命短，开机后需要预热。激光光源为激光器，体积小、稳定性高、寿命长，常与检测腔及光检测器做成一体，组成传感器。常见的激光光源有HeNe激光器、激光二极管。
采用普通光源的尘埃粒子计数器对0.3μm以下的微粒信号响应很低，其信号幅度与计数器本身的噪声幅度相差无几，信号很难从噪声中检测出来。此类仪器虽然标有0.3μm这一通道，但只适于测定大于0.3μm特别是0.5μm以上的微粒。由于激光的单色性好，光能量集中稳定，所以采用激光光源的尘埃粒子计数器其传感器有较高的信噪比，此类仪器有些能检测到0.1μm的微粒。
2、测量腔
测量腔是进行微粒观测的空间，被采集的空气要从测量腔内穿过。仪器的光学系统使光源经透镜、狭缝照射到测量腔中，形成一个体积约几个立方毫米的光敏感区。当空气中的尘埃通过光敏感区时，会散射出一部分光能量，被与入射光成一角度(90度或70度)的集光透镜收集，再投射到光检测器上。
3、流量监控
尘埃粒子计数器的采样流量一般为2.83L/min或28.3L/min，进口仪器常标识为0.1cfm(立方英尺每分钟)或1cfm，主要是为了便于进行符合Fed-Std-209E的洁净度的计算。大流量的采样(28.3L/min)更能准确地反映空气的洁净状况，但使zui大采样浓度降低。
4、光检测器
光检测器是将散射光能量转换为电信号的光电转换器件。尘埃粒子计数器中zui常用的光检测器是光电倍增管和光电二极管。
光电倍增管把光电子放大几万倍后转换成几个毫伏到几十毫伏的电信号，具有光谱线性好、响应时间快、暗电流小的优点，缺点是体积大。光电倍增管工作时需加上几百伏特的负高压，仪器中有相应的高压产生电路，在对仪器进行调试或校准时应注意安全。
光电二极管是一种受到光照后能产生电子的半导体元件，具有体积小、外围电路简单的特点，常与检测腔做成一体。
5、气泵及过滤器
气泵位于仪器内部，使仪器产生采样流量。气泵要求噪音低、振动小、产生的气流稳定。过滤器应能过滤掉0.3μm以上的微粒，以免从仪器排出的空气对洁净区产生影响。
6、电路系统
粒子计数器电路系统就是完成对脉冲信号的放大、甄别、计数的电路。此外还包括电源、控制、显示、计算、打印等电路。
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